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學(xué)術(shù)分享 I 電場金屬直寫3D打印技術(shù):制備高分辨率、高厚徑比陶瓷電路板

發(fā)布時間:2025-10-20   瀏覽量:   分享到:

電場金屬直寫.pdf 論文解讀

一、研究背景

隨著5G通信、航空航天、人工智能、自動駕駛汽車和物聯(lián)網(wǎng)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,陶瓷電路板(CCBs)憑借其高導(dǎo)熱性、高耐熱性、優(yōu)異的介電性能和機械強度,已成為傳統(tǒng)樹脂基印刷電路板(PCB)的可靠替代品。

當前電子設(shè)備朝著小型化和高功率方向發(fā)展,對陶瓷電路板提出雙重要求:一方面,小型化需要高分辨率(小線寬/線間距)電路以減少占用面積;另一方面,小線寬會導(dǎo)致電阻增加,限制載流能力。增加縱橫比(AR)是恒定線寬下提升載流能力的關(guān)鍵,但現(xiàn)有制造技術(shù)存在顯著瓶頸——光刻、納米壓印等方法雖能實現(xiàn)高分辨率,卻難以適配陶瓷基板的粗糙表面;絲網(wǎng)印刷(SP)、直接鍵合銅(DBC)等陶瓷金屬化方法雖能制造厚膜,卻無法實現(xiàn)高分辨率(如SP線寬通常>40μm,DBC>100μm),形成“小線寬與大厚度”的技術(shù)空白。

圖1:直立式陶瓷電路板(S-CCBs)示意圖、優(yōu)勢及犧牲涂層輔助電場驅(qū)動(EFD)微3D打印制造流程機制

a:大線寬、低膜厚的商用陶瓷電路板(CCBs)示意圖;b:小線寬、大膜厚的直立式陶瓷電路板(S-CCBs)示意圖;

c:不同制造方法的線寬與膜厚對比圖(DBC=直接鍵合銅,IJP=噴墨印刷,AJP=氣溶膠噴射印刷,DPC=直接鍍銅,LAM=激光活化金屬化,SP=絲網(wǎng)印刷,LPBF=激光粉末床熔融),插圖展示CCBs與S-CCBs導(dǎo)線橫截面(線寬,膜厚);

d:粗糙Al?O?基板電荷分布不均導(dǎo)致噴射不穩(wěn)定;e:犧牲涂層(SC)-Al?O?基板電荷分布均勻,噴射穩(wěn)定;

f:Al?O?與SC-Al?O?表面電場強度變化;g:Al?O?上無法堆疊高AR銀線;h:SC-Al?O?上可印刷高AR銀線;

i:銀漿在兩種基板上的接觸角;j:Al?O?上銀線局部收縮并出現(xiàn)孔洞;k:SC-Al?O?上銀線均勻收縮;

l:有無犧牲涂層的銀漿熱重(TG)分析曲線;m:Al?O?基板上45mm×45mm、線寬40μm的電路(與商用PCB分辨率相近);

n:5mm×5mm、線寬10μm的微型集成電路;o:子圖l的高倍圖像;p:線寬10μm、AR=1.37的4層銀線SEM圖。

二、研究內(nèi)容

2.1 核心技術(shù):犧牲涂層輔助EFD微3D打印

研究提出犧牲涂層輔助微3D打印策略,結(jié)合平坦疏水的犧牲涂層與電場驅(qū)動(EFD)微3D打印,制備兼具高分辨率和高AR的直立式陶瓷電路板(S-CCBs),制造流程分三步:

  1. 在陶瓷基板表面覆蓋犧牲涂層(水性聚氨酯乳液,CT-PT);
  2. 通過EFD微3D打印工藝印刷銀漿(固含量70wt%,粘度35000mPa·s);
  3. 870℃燒結(jié)25分鐘,固化銀線并去除犧牲涂層(犧牲涂層去除溫度>銀漿分離溫度且<銀漿凝固溫度)。

犧牲涂層的核心作用:① 改善陶瓷基板粗糙表面的電場均勻性,避免噴射不穩(wěn)定;② 隔離銀漿與基板,結(jié)合電荷誘導(dǎo)自對準效應(yīng)實現(xiàn)高AR多層堆疊;③ 消除基板鎖定效應(yīng),使銀線燒結(jié)時均勻收縮,提升導(dǎo)電性與附著力。

2.2 基板印刷行為對比(Al?O? vs SC-Al?O?)

圖2:Al?O?基板與犧牲涂層(SC)-Al?O?基板上的印刷行為

a:兩種基板表面形貌;b:10×10μm區(qū)域Al?O?粗糙度(Ra=153nm,Rz=1240nm);c:10×10μm區(qū)域SC-Al?O?粗糙度(Ra=33nm,Rz=170nm);

d:兩種基板表面輪廓對比;e:線寬標準偏差(Al?O?為3.1-5μm,SC-Al?O?穩(wěn)定在0.7μm);f:燒結(jié)線寬收縮率(SC-Al?O?約為Al?O?的2倍,10.6μm線寬收縮后達7μm);

g:AR與層數(shù)關(guān)系(SC-Al?O?上1-8層AR從0.24升至2.3,Al?O?上AR基本不變);h:線寬與層數(shù)關(guān)系(SC-Al?O?線寬基本不變,Al?O?線寬持續(xù)增加);

i-j:Al?O?上印刷/燒結(jié)銀線(存在斷裂);k-l:Al?O?上多層銀線輪廓(線寬增加);m-n:SC-Al?O?上印刷/燒結(jié)銀線(形貌完整);o-p:SC-Al?O?上多層銀線輪廓(AR提升)。

關(guān)鍵結(jié)論:SC-Al?O?基板粗糙度顯著降低(Ra從153nm降至33nm),電場均勻性提升,使印刷線寬一致性提高、燒結(jié)收縮更充分,且多層堆疊時可保持線寬穩(wěn)定并提升AR。

2.3 典型結(jié)構(gòu)制造與性能測試

圖3:通過所提方法制造的典型S-CCBs結(jié)構(gòu)

a:60匝、線寬10μm的微型電感器;b:線寬/線間距10μm/10μm的叉指電極(IDEs);c:3×4 LED陣列(通過銀電路連接);

d-f:三種陶瓷基板(Al?O?、AlN、ZrO?)上10μm銀線(面積40mm×40mm);g:五角星陣列(線寬7.8μm,邊長470μm);

h:圓形陣列(線寬14μm,直徑500μm);i-k:2/6/8層銀線(線寬10μm,AR分別為0.46/1.75/2.3)。

圖4:S-CCBs的電性能與環(huán)境適應(yīng)性

a:方阻/電阻與線寬關(guān)系(線寬增加則電阻降低);b:層數(shù)對電阻的影響(層數(shù)增加則電阻降低);c:銀網(wǎng)電阻與線間距關(guān)系(線間距減小則電阻降低);

d:銀線電阻變化率與溫度關(guān)系(與純銀趨勢一致);e:與其他技術(shù)的性能對比(本方法線寬7μm、導(dǎo)電性5.1×10?S/m,優(yōu)于AJP、LAM等);

f:1000次附著測試(電阻變化率僅0.64%);g:1000次刮擦測試(電阻變化率穩(wěn)定在7%);h:500小時化學(xué)腐蝕(水/鹽酸/NaOH中電阻變化率分別為2.1%/8.5%/7.2%);

i:500小時熱老化(500℃下電阻變化率9.8%,800℃后期急劇上升)。

圖5:S-CCBs在電路與無源元件中的應(yīng)用性能

a:溫升測試示意圖;b:帶4個LED的測試電路;c:1層/6層電路實物;d:電壓-電流關(guān)系(6層電路6V下電流4.49A,為1層的3倍);

e:不同層數(shù)電路的溫升對比(1.5A下1層160℃、2層90.7℃、6層<38.9℃);f:不同條件下溫度分布;g-h:0-350℃加熱穩(wěn)定性(200次循環(huán)穩(wěn)定);

i-j:平面電感器(L1=單層20μm線寬,L2=6層10μm線寬)的電感與Q值(L2電阻更低、Q值更高);k:電感器溫升對比(L2溫度低于L1);

l-m:叉指電極傳感器(S1=單層20μm線寬,S3=6層10μm線寬)的阻抗測試(S3對0.01-0.03ppm溶液靈敏度更高)。

三、研究結(jié)論

  1. 技術(shù)突破:犧牲涂層輔助EFD微3D打印填補“小線寬-大厚度”技術(shù)空白,實現(xiàn)7μm最小線寬、2.3最大AR,線寬/線間距達1:1,優(yōu)于傳統(tǒng)光刻/電鍍技術(shù);
  2. 性能優(yōu)勢:S-CCBs導(dǎo)電性達5.1×10?S/m,在1000次附著/刮擦測試、500小時500℃熱老化及化學(xué)腐蝕下性能穩(wěn)定,電阻變化率可忽略;
  3. 通用性強:可在Al?O?、AlN、ZrO?等陶瓷基板上制造任意圖案,適配5G、航空航天等領(lǐng)域?qū)Ω吖β市⌒突娮釉O(shè)備的需求;
  4. 應(yīng)用價值:在平面電感器(面積減小56%、溫升降低)和叉指傳感器(靈敏度提升、體積減小50%)中展現(xiàn)顯著優(yōu)勢,推動無源元件小型化。

四、論文信息

4.1 基礎(chǔ)信息

  • 論文標題:Directly printed standing ceramic circuit boards for rapid prototyping of miniaturization and high-power of electronics
  • 發(fā)表期刊:Nature Communications
  • 發(fā)表信息:2025年,16卷5258期,9頁
  • DOI:https://doi.org/10.1038/s41467-025-60408-x
  • 時間線:接收2024.04.08,接受2025.05.05,在線發(fā)表2025.06.06

4.2 作者與單位

  • 核心作者:Guangming Zhang(青島理工大學(xué))、Zhihao Yu(青島理工大學(xué),同等貢獻)、Hongbo Lan(通訊作者)
  • 作者單位: 1. 青島理工大學(xué)山東省增材制造工程研究中心; 2. 香港理工大學(xué)工業(yè)與系統(tǒng)工程學(xué)系; 3. 西安交通大學(xué)制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室
  • 聯(lián)系方式:ustbzgm@163.com(G.Z.)、zhuxiaoyang@qtech.edu.cn(X.Z.)、hblan99@126.com(H.L.)

4.3 材料與方法

  • 關(guān)鍵材料:銀漿(NT-TL20E,70wt%固含量)、陶瓷基板(Al?O?、AlN、ZrO?)、犧牲涂層(CT-PT水性聚氨酯乳液)
  • 表征設(shè)備:AFM(表面粗糙度)、SEM(形貌)、毫歐表(電阻)、電化學(xué)工作站(阻抗)、氣氛爐(燒結(jié))
  • 數(shù)據(jù)可用性:原始數(shù)據(jù)存于figshare(https://doi.org/10.6084/m9.figshare.28558604),補充信息見論文在線版本
森工3D打印機功能分析

3D打印機功能應(yīng)用分析

全面解析森工DIW墨水直寫3D打印機在該類研究中功能匹配情況及需定制功能,幫助用戶更好地選擇合適的3D打印設(shè)備及功能模塊。

 該研究中涉及的3D打印策略
1、森工可匹配模塊:

靜場直寫模塊:

      a. 電壓 :最高電壓30KV,額定電流1mA,0到最高電壓連續(xù)可調(diào),輸出正負單一極性;

b. 電源精度:電壓精度±(0.5%+1),電流精度±(4%+3);

c. 氣體壓力:最高0.8MPa;

d. 氣體壓力精度:±1KPa;(這個決定了擠出量穩(wěn)定性)

e. 噴嘴規(guī)格:0.15mm    0.2mm    0.25mm   0.3mm   0.4mm;

f. 平板可用面積:200 *160 mm;通過高壓靜場環(huán)境實現(xiàn)μm級別的銀漿材料打印,精確堆疊

小編對該類研究的拓展設(shè)想
1、拓展思路:

①常溫噴頭進行陶瓷基底3D打印,可以實現(xiàn)個性化材料配方以及基底結(jié)構(gòu)個性化設(shè)計;

②刮涂操作平臺,通過旋轉(zhuǎn)刮涂,實現(xiàn)μm級別的犧牲涂層打印;

       ③為了提高實驗效率,可使用獨立二級平臺搭配顯微鏡,實時對每一層進行打印精度觀察,包含了材料線寬的一致性以及基板表面平整度問題,及時修正實驗數(shù)據(jù)。
2、涉及模塊介紹:

①常溫噴頭打?。?/b>配備精密的調(diào)壓模塊,調(diào)壓精度±1KP,氣壓實時可調(diào);

②刮涂操作平臺:刮涂速度實時可調(diào),時間可調(diào)

③獨立二級運動平臺

       a. 獨立的運動控制系統(tǒng),支持獨立運動,模塊化快拆快裝,拆卸后不影  響原來行程;

       b. XYZ軸定位精度≤0.01mm;

       c. 二級平臺尺寸:257x290x69.5mm;

       d. 二級平臺可打印范圍:200x150x30mm;

       e. 二級平臺獨立移動范圍:X≥100mm;Y≥160mm;Z軸≥6.5mm;便于打印過程中,通過顯微鏡實時查看每層的微觀變化及中途干預(yù)。

由于小編學(xué)識所限,文中內(nèi)容難免存在疏漏或不足之處。若您發(fā)現(xiàn)任何錯誤或值得商榷的觀點,懇請不吝指正,

小編將第一時間修正完善。感謝您的包容與支持!

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森工科技 AutoBio系列藥物3D打印機

  • 1. 科研型定位,滿足科研實驗可視化參數(shù)需求;
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  • 3. 支持自調(diào)配材料,靈活適應(yīng)科研實驗要求;
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AutoBio 3D打印機示意圖



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