隨著5G通信、航空航天、人工智能、自動駕駛汽車和物聯(lián)網(wǎng)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,陶瓷電路板(CCBs)憑借其高導(dǎo)熱性、高耐熱性、優(yōu)異的介電性能和機械強度,已成為傳統(tǒng)樹脂基印刷電路板(PCB)的可靠替代品。
當前電子設(shè)備朝著小型化和高功率方向發(fā)展,對陶瓷電路板提出雙重要求:一方面,小型化需要高分辨率(小線寬/線間距)電路以減少占用面積;另一方面,小線寬會導(dǎo)致電阻增加,限制載流能力。增加縱橫比(AR)是恒定線寬下提升載流能力的關(guān)鍵,但現(xiàn)有制造技術(shù)存在顯著瓶頸——光刻、納米壓印等方法雖能實現(xiàn)高分辨率,卻難以適配陶瓷基板的粗糙表面;絲網(wǎng)印刷(SP)、直接鍵合銅(DBC)等陶瓷金屬化方法雖能制造厚膜,卻無法實現(xiàn)高分辨率(如SP線寬通常>40μm,DBC>100μm),形成“小線寬與大厚度”的技術(shù)空白。
a:大線寬、低膜厚的商用陶瓷電路板(CCBs)示意圖;b:小線寬、大膜厚的直立式陶瓷電路板(S-CCBs)示意圖;
c:不同制造方法的線寬與膜厚對比圖(DBC=直接鍵合銅,IJP=噴墨印刷,AJP=氣溶膠噴射印刷,DPC=直接鍍銅,LAM=激光活化金屬化,SP=絲網(wǎng)印刷,LPBF=激光粉末床熔融),插圖展示CCBs與S-CCBs導(dǎo)線橫截面(線寬,膜厚);
d:粗糙Al?O?基板電荷分布不均導(dǎo)致噴射不穩(wěn)定;e:犧牲涂層(SC)-Al?O?基板電荷分布均勻,噴射穩(wěn)定;
f:Al?O?與SC-Al?O?表面電場強度變化;g:Al?O?上無法堆疊高AR銀線;h:SC-Al?O?上可印刷高AR銀線;
i:銀漿在兩種基板上的接觸角;j:Al?O?上銀線局部收縮并出現(xiàn)孔洞;k:SC-Al?O?上銀線均勻收縮;
l:有無犧牲涂層的銀漿熱重(TG)分析曲線;m:Al?O?基板上45mm×45mm、線寬40μm的電路(與商用PCB分辨率相近);
n:5mm×5mm、線寬10μm的微型集成電路;o:子圖l的高倍圖像;p:線寬10μm、AR=1.37的4層銀線SEM圖。
研究提出犧牲涂層輔助微3D打印策略,結(jié)合平坦疏水的犧牲涂層與電場驅(qū)動(EFD)微3D打印,制備兼具高分辨率和高AR的直立式陶瓷電路板(S-CCBs),制造流程分三步:
犧牲涂層的核心作用:① 改善陶瓷基板粗糙表面的電場均勻性,避免噴射不穩(wěn)定;② 隔離銀漿與基板,結(jié)合電荷誘導(dǎo)自對準效應(yīng)實現(xiàn)高AR多層堆疊;③ 消除基板鎖定效應(yīng),使銀線燒結(jié)時均勻收縮,提升導(dǎo)電性與附著力。
a:兩種基板表面形貌;b:10×10μm區(qū)域Al?O?粗糙度(Ra=153nm,Rz=1240nm);c:10×10μm區(qū)域SC-Al?O?粗糙度(Ra=33nm,Rz=170nm);
d:兩種基板表面輪廓對比;e:線寬標準偏差(Al?O?為3.1-5μm,SC-Al?O?穩(wěn)定在0.7μm);f:燒結(jié)線寬收縮率(SC-Al?O?約為Al?O?的2倍,10.6μm線寬收縮后達7μm);
g:AR與層數(shù)關(guān)系(SC-Al?O?上1-8層AR從0.24升至2.3,Al?O?上AR基本不變);h:線寬與層數(shù)關(guān)系(SC-Al?O?線寬基本不變,Al?O?線寬持續(xù)增加);
i-j:Al?O?上印刷/燒結(jié)銀線(存在斷裂);k-l:Al?O?上多層銀線輪廓(線寬增加);m-n:SC-Al?O?上印刷/燒結(jié)銀線(形貌完整);o-p:SC-Al?O?上多層銀線輪廓(AR提升)。
關(guān)鍵結(jié)論:SC-Al?O?基板粗糙度顯著降低(Ra從153nm降至33nm),電場均勻性提升,使印刷線寬一致性提高、燒結(jié)收縮更充分,且多層堆疊時可保持線寬穩(wěn)定并提升AR。
a:60匝、線寬10μm的微型電感器;b:線寬/線間距10μm/10μm的叉指電極(IDEs);c:3×4 LED陣列(通過銀電路連接);
d-f:三種陶瓷基板(Al?O?、AlN、ZrO?)上10μm銀線(面積40mm×40mm);g:五角星陣列(線寬7.8μm,邊長470μm);
h:圓形陣列(線寬14μm,直徑500μm);i-k:2/6/8層銀線(線寬10μm,AR分別為0.46/1.75/2.3)。
a:方阻/電阻與線寬關(guān)系(線寬增加則電阻降低);b:層數(shù)對電阻的影響(層數(shù)增加則電阻降低);c:銀網(wǎng)電阻與線間距關(guān)系(線間距減小則電阻降低);
d:銀線電阻變化率與溫度關(guān)系(與純銀趨勢一致);e:與其他技術(shù)的性能對比(本方法線寬7μm、導(dǎo)電性5.1×10?S/m,優(yōu)于AJP、LAM等);
f:1000次附著測試(電阻變化率僅0.64%);g:1000次刮擦測試(電阻變化率穩(wěn)定在7%);h:500小時化學(xué)腐蝕(水/鹽酸/NaOH中電阻變化率分別為2.1%/8.5%/7.2%);
i:500小時熱老化(500℃下電阻變化率9.8%,800℃后期急劇上升)。
a:溫升測試示意圖;b:帶4個LED的測試電路;c:1層/6層電路實物;d:電壓-電流關(guān)系(6層電路6V下電流4.49A,為1層的3倍);
e:不同層數(shù)電路的溫升對比(1.5A下1層160℃、2層90.7℃、6層<38.9℃);f:不同條件下溫度分布;g-h:0-350℃加熱穩(wěn)定性(200次循環(huán)穩(wěn)定);
i-j:平面電感器(L1=單層20μm線寬,L2=6層10μm線寬)的電感與Q值(L2電阻更低、Q值更高);k:電感器溫升對比(L2溫度低于L1);
l-m:叉指電極傳感器(S1=單層20μm線寬,S3=6層10μm線寬)的阻抗測試(S3對0.01-0.03ppm溶液靈敏度更高)。
全面解析森工DIW墨水直寫3D打印機在該類研究中功能匹配情況及需定制功能,幫助用戶更好地選擇合適的3D打印設(shè)備及功能模塊。
靜場直寫模塊:
a. 電壓 :最高電壓30KV,額定電流1mA,0到最高電壓連續(xù)可調(diào),輸出正負單一極性;
b. 電源精度:電壓精度±(0.5%+1),電流精度±(4%+3);
c. 氣體壓力:最高0.8MPa;
d. 氣體壓力精度:±1KPa;(這個決定了擠出量穩(wěn)定性)
e. 噴嘴規(guī)格:0.15mm 0.2mm 0.25mm 0.3mm 0.4mm;
f. 平板可用面積:200 *160 mm;通過高壓靜場環(huán)境實現(xiàn)μm級別的銀漿材料打印,精確堆疊
①常溫噴頭進行陶瓷基底3D打印,可以實現(xiàn)個性化材料配方以及基底結(jié)構(gòu)個性化設(shè)計;
②刮涂操作平臺,通過旋轉(zhuǎn)刮涂,實現(xiàn)μm級別的犧牲涂層打印;
①常溫噴頭打?。?/b>配備精密的調(diào)壓模塊,調(diào)壓精度±1KP,氣壓實時可調(diào);
②刮涂操作平臺:刮涂速度實時可調(diào),時間可調(diào)
③獨立二級運動平臺:
a. 獨立的運動控制系統(tǒng),支持獨立運動,模塊化快拆快裝,拆卸后不影 響原來行程;
b. XYZ軸定位精度≤0.01mm;
c. 二級平臺尺寸:257x290x69.5mm;
d. 二級平臺可打印范圍:200x150x30mm;
e. 二級平臺獨立移動范圍:X≥100mm;Y≥160mm;Z軸≥6.5mm;便于打印過程中,通過顯微鏡實時查看每層的微觀變化及中途干預(yù)。
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